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利用掃描電子顯微鏡 (簡稱掃描電鏡) 對樣品微細結(jié)構(gòu)的形態(tài)、大小和分布進行觀察的現(xiàn)代科學研究手段。掃描電鏡具有分辨率高、放大倍數(shù)可變范圍大、觀察視場大、景深長等特點，所以圖像立體感強、樣品適應(yīng)性大以及樣品受輻射損傷小。在生物學、醫(yī)學、農(nóng)業(yè)科學及非生物科學領(lǐng)域中都得到廣泛的應(yīng)用。若加上特殊的附件，成為分析電子顯微鏡，就不僅能夠獲得樣品形態(tài)結(jié)構(gòu)信息，而且能用來分析樣品的化學組成。

掃描電鏡基本結(jié)構(gòu) 由電子光學系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、圖像信號檢測器、圖像顯示與記錄系統(tǒng)、電源系統(tǒng)及其他附屬部件組成。

電子光學系統(tǒng) 即鏡筒，由電子槍、合軸線圖、聚光鏡、物鏡 ......