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利用電子束作為光源使高速電子流在磁透鏡中與固體、生物樣品等試樣發(fā)生散射、衍射或掃描作用而形成高倍放大像來(lái)研究試樣超微形態(tài)、結(jié)構(gòu)、成分和功能的電子光學(xué)儀器。

世界上第一臺(tái)電子顯微鏡誕生于1933年，是由德國(guó)科學(xué)家E.魯斯卡(Ruska)教授設(shè)計(jì)制造的。當(dāng)時(shí)這臺(tái)儀器放大倍數(shù)可達(dá)1.2萬(wàn)倍，優(yōu)于光學(xué)顯微鏡的分辨率。20世紀(jì)80年代電子顯微鏡的分辨率已提高至0.08納米，放大倍數(shù)達(dá)120萬(wàn)倍。

中國(guó)自1958年制造了第一臺(tái)電子顯微鏡起，先后生產(chǎn)有分辨率達(dá)0.2納米，放大倍數(shù)可達(dá)80萬(wàn)倍的DX-4系列透射電鏡和分辨率達(dá)7納米，放大倍數(shù)達(dá)10萬(wàn)倍的DX-5系列掃描電鏡。

電子顯微鏡種類 由于結(jié)構(gòu)、用途各異， ......