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一種新型的電子顯微分析技術(shù)。全稱為電子探針X射線顯微分析(electron probe X-ray microanalysis)。

原理 用掃描電子顯微鏡的高速電子束轟擊試樣表面的微小區(qū)域而得到特征X射線，通過其波譜、能譜狀況以分析確定該微區(qū)內(nèi)所含元素的種類和含量，并利用發(fā)射出的二次電子信號，進(jìn)行樣品表面形態(tài)的觀察，從而達(dá)到分析測試樣品的組織結(jié)構(gòu)和元素分布之間原位的關(guān)系。經(jīng)過計算機(jī)數(shù)據(jù)處理和定標(biāo)過程，可以得到所需測定的元素含量和分布的面掃描、線掃描或點(diǎn)分析的不同測定結(jié)果。

儀器 電子探針顯微分析儀的內(nèi)部結(jié)構(gòu)如圖所示。從電子槍發(fā)射出的電子經(jīng)陽極被加速成高速電子流，由聚光鏡將其匯聚成極細(xì) ......