作者:佚名 來源于:學習力教育中心
一種新型的電子顯微分析技術。全稱為電子探針X射線顯微分析(electron probe X-ray microanalysis)。
原理 用掃描電子顯微鏡的高速電子束轟擊試樣表面的微小區(qū)域而得到特征X射線,通過其波譜、能譜狀況以分析確定該微區(qū)內所含元素的種類和含量,并利用發(fā)射出的二次電子信號,進行樣品表面形態(tài)的觀察,從而達到分析測試樣品的組織結構和元素分布之間原位的關系。經過計算機數(shù)據處理和定標過程,可以得到所需測定的元素含量和分布的面掃描、線掃描或點分析的不同測定結果。
儀器 電子探針顯微分析儀的內部結構如圖所示。從電子槍發(fā)射出的電子經陽極被加速成高速電子流,由聚光鏡將其匯聚成極細 ......
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